潔凈烘箱，百級潔凈烤箱用途:

     潔凈烘箱，百級潔凈烤箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

特點：
1.在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級達到Class 100；
2.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機臺本身所產(chǎn)生微塵；
3.采平面水平由后向前送風熱風循環(huán)系統(tǒng)，風源由循環(huán)馬達運轉帶動風輪經(jīng)電熱器，將熱風由風道送至烤箱內(nèi)部，且將使用后空氣吸入風道成為風源再度循環(huán)加熱，省電節(jié)能溫度均勻性好，過濾效率99.99%，Class 100；

4.強制送風循環(huán)方式。雙風道循環(huán)結構，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，得到高溫度控制精度。

技術參數(shù)：

  無塵等級：Class 100;     

  溫度范圍： 60～ +300℃；
  溫度均勻度：200℃±2℃;    

  溫度波動度：±0.5℃（空載）        
  溫控精度：±0.1℃;        

  工作尺寸：600×600×500         
  電源：380v , 50Hz，10KW    

  網(wǎng)板：2塊（高度可調(diào)節(jié))

  潔凈度100級的潔凈熱處理
HEPA過濾器與前出風型水平層流循環(huán)方式實現(xiàn)并保證箱內(nèi)的溫度分布的均勻性與100級潔凈度。zui小限度控制風速距離。