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納米陶瓷材料表面疏水HMDS處理系統(tǒng)生產(chǎn)工藝周期短，提高生產(chǎn)效率； 修飾液用量極少，節(jié)約成本90%； 閉環(huán)的工藝過程，安全系數(shù)高。

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HMDS氣相成底膜烘箱 真空HMDS氣相烘箱在晶圓上行噴涂hmds預處理的工藝，將晶圓表面親水性的置換為疏水性的，使晶圓表面接觸角達到65或更高。

HMDS預處理機H-2 智能HMDS真空烘箱為半導體應用的光刻膠粘合促進劑工藝設(shè)備，

掩膜版HMDS真空烘箱 hmds烤箱使基底表面由親水性變?yōu)槭杷?，增強表面的黏附性（HMDS-六甲基二硅胺烷）。適用于硅片、麟化銦、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料。

HDMS烘箱 HDMS真空烘箱 HDMS預處理烘箱保護裝置：緊急停止，HMDS藥液泄漏報&警提示，HMDS低液位報&警，超溫保護，漏電保護，過熱保護等

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